电容式压力计是机电式仪表，可以测量压力和真空。电容计将薄隔膜中的压力调制运动转换为与压力成比例的电信号。压力传感器是薄隔膜，暴露在通过入口管测量的压力或真空中。电极安装在隔膜后面的参考腔中。过程和参考腔之间的压力差会使隔膜略微偏转，从而改变隔膜与电极之间的距离。该距离的变化会产生隔膜和电极之间的电容变化，从而产生与压力变化成比例的电信号。精度被为读数的百分比，而不是满量程，正如在一些性能较低的设备中所看到的那样。读数精度百分比在压力范围的较低范围内为您提供更准确的输出信号，这是最需要的。 Granville-Phillips®间接真空计,可靠、精确、可靠的真空测量技术。世界各地的真空用户转向MKS、Granville-Phillips®产品，以获得可靠、精确、可靠的真空测量技术，用于测量10-11至1500 Torr的压力。他们的真空计、传感器、传感器和控制器基于多种压力测量技术，包括Convectron®、Micro-Ion®、MicroPirani™、压电冷热阴极、Stabil-Ion®和基于MEMS的多传感器技术。MKS提供一系列控制器，用于控制离子计、热损失传感器和热电偶。可以配置产品功能以满足您的特定工艺需求。多种通信协议（包括RS-232、RS-485和DeviceNet™）可用于加快和轻松集成到您的控制方案中。此外，许多控制器提供本地显示和设定点选择，进一步简化控制系统集成。
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