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KINNEY叶片泵螺杆泵

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凯尼 KLRC双级液环真空泵 是抽吸潮湿混合气体以及抽吸含微小液滴气体的理想设备。整套工程系统解决方案包括仪表、控制装置、管路和阀门、自循环系统、工作液再循环系统供选择。
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  KINNEY叶片泵螺杆泵的详细资料:

4.低压化学蒸气沉积(LPCVD)

5.硅晶生长

6.泄露检测 

特点:

1.最大抽速保持到133 Pa.    2.由于泵腔内金属间无接触,使用寿命长.3.耐磨性好,抗腐蚀性强.4.泵腔内气道畅通,无小孔阻尼现象.5.气镇可调,可抽除可凝性气体.6.极限压力可达1.33 Pa.7.此泵有一根轴、二个偏心轮和二个成180度放置并平行运行的滑阀.

凯尼 KLRC双级液环真空泵 是抽吸潮湿混合气体以及抽吸含微小液滴气体的理想设备。整套工程系统解决方案包括仪表、控制装置、管路和阀门、自循环系统、工作液再循环系统供选择。

产品特点: 抽吸压力可以低至 4Torr(5.3mbar)。然而,低压力下的工作性能会受工作液的饱和蒸汽压限制,工作液可以是水、油或流程液体。该泵有标准材料配置、全部铸铁材料或 316SS不锈钢材料选项,通常是水冷系统,风冷系统供选择。


产品相关关键字: 真空助推器 液环泵 旋片泵 真空泵 螺杆泵
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