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KINNEY叶片泵螺杆泵

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产品特点：	凯尼 KLRC双级液环真空泵是抽吸潮湿混合气体以及抽吸含微小液滴气体的理想设备。整套工程系统解决方案包括仪表、控制装置、管路和阀门、自循环系统、工作液再循环系统供选择。

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KINNEY叶片泵螺杆泵的详细资料：

4.低压化学蒸气沉积（LPCVD）

5.硅晶生长

6.泄露检测

特点：

1．最大抽速保持到133 Pa. 2．由于泵腔内金属间无接触，使用寿命长.3．耐磨性好，抗腐蚀性强.4．泵腔内气道畅通，无小孔阻尼现象.5．气镇可调，可抽除可凝性气体.6．极限压力可达1.33 Pa.7．此泵有一根轴、二个偏心轮和二个成180度放置并平行运行的滑阀.

凯尼 KLRC双级液环真空泵是抽吸潮湿混合气体以及抽吸含微小液滴气体的理想设备。整套工程系统解决方案包括仪表、控制装置、管路和阀门、自循环系统、工作液再循环系统供选择。

产品特点：抽吸压力可以低至 4Torr(5.3mbar)。然而，低压力下的工作性能会受工作液的饱和蒸汽压限制，工作液可以是水、油或流程液体。该泵有标准材料配置、全部铸铁材料或 316SS不锈钢材料选项，通常是水冷系统，风冷系统供选择。

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